میکروسکوپ الکترونی عبوری مرسوم به منظور تحقق عملیات تحلیل و تصویربرداری از نمونه های حوزه های مختلف در مقیاس نانومتر مورد استفاده قرار می گیرد. پژوهشگران حوزه های مختلف برای برآورده ساختن نیازمندی های خود از تجهیزات جانبی به همراه میکروسکوپ الکترونی عبوری استفاده نموده یا تغییراتی را درون ساختار کلی میکروسکوپ ایجاد می کنند. در اینجا از میان خانواده میکروسکوپ های الکترونی عبوری، میکروسکوپ الکترونی عبوری با قابلیت فیلتر کردن انرژی بررسی می شود. این میکروسکوپ حدود یک دهه پیش اختراع شد و در حال حاضر نیز به عنوان یک ابزار تحلیل کاربردی در حوزه شناسایی مواد مورد استفاده قرار می گیرد. طراحی این میکروسکوپ براساس اصول فیزیکی طیف سنجی افت انرژی الکترون و بکارگیری دو نوع فیلتر انرژی: 1-درون ستونی و 2-بعد از ستون امکان پذیر است. میکروسکوپ الکترونی عبوری با قابلیت فیلتر کردن انرژی به منظور تهیه تصاویر از ریز ساختارها از نوار انرژی باریکی متشکل از الکترون های پراکنده غیرالاستیک استفاده می کند. به دلیل ساده بودن عملیات این نوع فیلترها هم اکنون می توان در مدت چند دقیقه تصاویری واضح از عنصری معین در نمونه را بدست آورد. به منظور حصول بهترین نتیجه، داشتن دانشی بنیادین از قوانین فیزیک بکار رفته در روش EELS و قدرت تحلیل اصولی جزئیات فنی ضروری است [1]. البته آشنایی با ساختار فیلترهای انرژی موجود و کاربردهای EFTEM در حوزه های مختلف نیز از اهمیت بالایی برخوردار است.